PuolijohdeteollisuusOmron on vakiinnuttanut asemansa maailmanlaajuisena ratkaisuntarjoajana puolijohdeteollisuudessa. Olemme saavuttaneet asemamme pitkäaikaisella yhteistyöllä markkinoiden johtavien konerakentajien, kuten SEMIn, kanssa. Olemme hankkineet tarvittavan tieto-taidon tullaksemme johtavaksi toimittajaksi konerakentajille, jotka käyttävät antureita, logiikoita, liikkeenohjausta, turvajärjestelmiä ja -komponentteja.
Vacuum Process
|
Vacuum processes, such as plasma CVD, PVD, dry etching, ashing, etc., are applied for coating or etching thin films on wafers. Sensitive process control as well as clean and high-vacuum environments, is required. To achieve the best performance, Omron offers high process visibility of the process for parameter extraction/optimization, quick start-up and adjustment of machine differences, and failure analysis. Sensing integrity is essential to ensure safe and stable operation. We offer sensing solutions that meet this requirement for vacuum processes.
|
|
